往復式真空泵失效和操作不穩定的常見原因是油污染。如果水或酸性蒸氣流經該泵二并讓油維持工作一段時間。則會發生對泵的嚴重腐蝕和損壞。確定需要換油的簡單方法是，在往復式真空泵上連接一個真空表，查明能否達到額定真空。
如果聞到存在溶劑的氣味，通常提示需要換油。輕棕色、陰暗的油也說明有水存在。一旦產生疑慮，應即換油。在小型泵中，油呈黑色不一定表明油已污染。葉片磨合越長久。則運動部件的內座磨合越好，由這種磨合而帶入油中的碳也越多，它可使油的顏色變黑但不會降低其蒸氣壓，甚至還會增加其潤滑性。如果往復式真空泵僅是偶而使用或借給其他操作人員使用，則在泵暫時閑置之前，把油排凈并充以新油。許多用戶發現:在泵上貼一標簽，在上面記錄換油日期，對他們是很方便的。
多數情況下，排凈泵油十分簡單。只要讓往復式真空泵運轉。使油變熱并使油膜盡變薄。然后，打開泵入口敞于大氣，關掉動力并且打開排放閥。必要時，可從與閥門相對的一端將泵掀斜以保證完全排凈。當停止流油時，轉動機器數秒鐘或用手轉動皮帶輪，以排凈仍留在定子縫隙中的油。如果泵在排油時運轉操作一會兒，則在運動部件上會存在足夠的油膜以防止損壞。
記住:當加人新油時，留在往復式真空泵中的任何臟油都會污染新油。大多數廠商不建議使用洗凈過的油。
